等离子废气处理的工作原理是流星雨状的高能等离子与介质发生非弹性碰撞，将能量转化成基态介质的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程是污染介质处于活化状态。污染介质在等离子体的作用下，产生活性自由基，活化后的污染分子经过等离子体定向链化学反应后被脱离。当离子平均能量超过污染介质中化学链结合能时，分子链段裂，污染介质分解，并在等离子废气净化器吸附场的作用下被收集。
等离子废气处理原理：采用高压发生器产生并形成低温等离子体，在平均能量大约在5eV的大量电子作用下，使通过净化器的废气成分苯、甲苯、二甲苯等有机废气分子转化成各种活性粒子，与空气中的O2结合生成H2O、CO2等低分子无害物质，使废气得到净化。在处理过程中，当有机气体进入冷离子体反应室时，气体被均匀分配到等离子反应室（PRC）。反应室内每根管子的中间有一根冠状电线，与反应室独立隔开。通过高压线对反应室导通可调节高压，高压导通道管子里的冠状电线上，由电线至管壁产生放电现象。
一旦放电，等离子体电子就与气体分子相撞击，产生化学性活性核素，就是通常所说的激进和负荷载体。还具有微型静电沉淀器的功能，该装置可以出尘。注入环境或者二级气体来优化反应室的湿度和温度等级，加入离子来改善反应室内的反应。这种冷离子体处理方法使有机气体在低温下进行“氧化”。
去除污染物的基本过程：
过程一：产生电子，羟基，臭氧及氧原子；
过程二：电子轰击污染分子；
过程三：自由氧、羟基自由基氧化污染物分子；
过程四：活性基团及分子碎片反应。
等离子废气净化器特点
1、科技含量高，引进国外先进技术。
2、模块设计、灵活简便，安装简单，占地面积小。
3 、放电强度大，产生高能等离子体密度大。
4 、联合等离子体中光子的协同作用较传统的电晕放电和DDBD，更加高效的降解废气。
5、空气阻力小，减少压降损失。耗电量小。
6、适用于多数的恶臭废气和有机废气，降解率高。
7、电极不与处理废气直接接触，使用寿命长。
8、不宜用于高温高湿度的气体，大风量情况下不建议使用。
等离子废气处理设备广泛适用于各种低浓度的有机（喷涂、印刷、刷胶、烘烤等）废气处理。
